HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列为百万周期真空闸阀, 专为高真空应用而设计, 特别适合 1x10-9 mbar 高真空且烘烤温度不超过 150°C的应用.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列内部没有机械锁, 非常适合对于要求无振动运行的半导体和敏感工艺. 所有活动关节的轴都经过硬化处理, 减少了颗粒物的产生并提供了更平稳的驱动.
清洁和高密封性保证 HVA 真空阀门与低温泵、涡轮分子泵, 离子泵等完美联用.
上海伯东是美国 HVA 真空阀门在中国地区***指定总代理商.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品特点:
1. 直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器.
2. 独特的气缸设计使冲击和振动减少到***小.
3. HVA真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁, 因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业.
4. 所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易.
5. HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界***小的内部表面区域.
6. 阀体和所有内部部件都是在1100 ℃, 1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成, 确保了阀门的***大完整性.
7. 在保养方面, 支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来.
8. 阀门驱动手动、气动可选.
9. 标准或定制法兰满足不同应用.
10. HVA 标准周期真空阀门 21200 系列可任意位置安装.
11. 电磁阀控制并带有手动超控.
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列 技术参数：
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阀门材质：
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阀门主体
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304不锈钢
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焊接波纹管轴封
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AM-350
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驱动轴和驱动销
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硬质不绣钢
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密封件
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氟橡胶
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真空：
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压力范围
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1x10-9 mbar
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漏率
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< 2x10-9 mbar l/S
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差压关闭
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1 bar (任意位置)
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开启前***大压力
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≤ 30 mbar
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烘烤温度（不含电磁阀）：
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佛橡胶密封
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150 °c
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驱动方式
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手动 60 °c; 气动 60 °c
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使用寿命：1,000,000启闭次数
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公称通径：DN16-320 mm
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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品订货号
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DN
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Model
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mm
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inch
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Number
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16
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0.625
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21212-006_
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40
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1.5
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21212-015_R
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|
50
|
2
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21212-020_R
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63
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2.5
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21212-025_R
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|
80
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3
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21212-030_R
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100
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4
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21212-040_R
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160
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6
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21212-060_R
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200
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8
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21212-080_R
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250
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10
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21212-100_R
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320
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12
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21212-120_R
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HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品选件
1. 定制法兰
2. 带铜帽的特高压版本
3. 备用O形圈材料
4. 备用螺线管电压
5. 位置指示器的微动开关
6. 粗加工口
7. 电机操作员
8. 高温组件，包括O形圈，微动开关和执行器。
9. 较大的尺寸
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列产品部件图
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