世界范围内，同类产品中效率***高的干涉仪。
三轴外差式微振动检测激光干涉仪，用于位移、俯仰角和偏摆角的三角关系测量 高灵活性调整模块，适用于所有数控机床的参数的测量 动态测量***大速度4m/s，实时显示三个轴的测量数据 小型反射镜，带有磁性固定装置 适用于笔记本电脑、PCI和PXI中线，与网络兼容 位移测量标准分辨率为1nm，角度测量分辨率为0.01" 使用高精度温度传感器，系统精度可达50nm/m 可拓展为6轴测量 外部触发***大频率为40MHz快速调整也适用于3D 所有3轴实时数据测量，无延时 ***多可扩展到6轴 小型反射镜 外部***大触发频率40MHz
上图为一个具体的3-轴干涉镜和3-轴反射镜系统，光束由激光头发出后进入干涉镜，3-轴干涉镜把输入的光束分为三个部分：
信号光束1用于位移的测量，信号光束2用于俯仰角的测量，信号光束三用于偏摆角的测量。
所有的光束照射到被测物体（3-轴反射镜固定在被测物体上）后再次反射到干涉镜上，每个信号光束与反射的光束进行干涉，然后干涉光束传输到激光头里，进行信号分析后进入到软件里。
由本公司代理，德国耶拿尔JENAer测量技术公司生产的双频激光干涉仪，是世界上***一家将***的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等，还能够测量数控机床的回转量等。多轴干涉仪仪更可测量和检测物体的微位移、摆动振动情况、工作台的运动情况等。
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浙公网安备 33010602000537号
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